直線模組：特點
A. 無鐵芯直線電機直驅
B. 高精度以及精準回零
C. 風琴罩外殼
風琴罩外殼DGL XY 平臺， 采用雅科貝思風琴罩蓋板標準DGL模組組成。具有良好的剛性性能，以及良好的定位精度。適用于重油污環(huán)境。
| 模組 | 軸 | 電機型號 | 有效行程（mm） | 運動質量（Kg） | 總質量（Kg） | 傳感器限位（mm） | 硬限位（mm） |
| DGL200 | 上軸 | AUM4-S2 | 300 | 3.1 | 29 | 304 | 320 |
| AUM4-S3 | 300 | 3.4 | 29 | 304 | 320 | ||
| 下軸 | AUM4-S3 | 300 | 24.9 | 103 | 304 | 320 | |
| AUM4-S4 | 300 | 26.1 | 103 | 304 | 320 |
注：花崗巖的質量大約260Kg.
| 規(guī)格參數(shù) | 單位 | DGCR 300 | DGCRS 300 |
| 1直線度 | μm | ±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm | ±3μm/25mm，NTE±10μm/610mm |
| 1平面度 | ±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm | ±3μm/25mm，NTE±10μm/300mm | |
| 重復精度（1μm分辨率） | ±3μm（40μm光柵柵距） | ±3μm（40μm光柵柵距） | |
| 重復精度（0.5μm分辨率） | ±1.5μm（20μm光柵柵距） | ±1.5μm（20μm光柵柵距） | |
| 重復精度（0.1μm分辨率 | ±1μm（20μm光柵柵距） | ±1μm（20μm光柵柵距） | |
| 復精度（模擬量） | ±5 counts | ±5 counts | |
| X-Y正交性 | Arc-sec | 10 | 10 |
注：所有的測量數(shù)據(jù)基于模組安裝在平面度為5um的花崗巖臺面上。
